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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】典型的DUV光刻膠曝光劑量的寬容度是多少？
答案：
深紫外光刻膠的曝光寬容度是劑量變化范圍在1%左右。
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問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】哪種激光器用做248nm的光源，193nm的光源是什么？
答案：
通常用于深紫外光刻膠的準(zhǔn)分子激光器是波長(zhǎng)為248nm氟化氪（KrF）激光器，193nm的氟化氪激光器大概是作為曝光源的準(zhǔn)...
問(wèn)答題
【簡(jiǎn)答題】如果光刻膠對(duì)光的吸收過(guò)多側(cè)墻會(huì)怎樣？
答案：
如果光刻膠的吸收過(guò)多，光刻膠底部接收的光強(qiáng)度就會(huì)比頂部的少很多，會(huì)導(dǎo)致圖形側(cè)墻傾斜。
