問答題

【簡答題】哪種激光器用做248nm的光源，193nm的光源是什么？

答案：通常用于深紫外光刻膠的準分子激光器是波長為248nm氟化氪（KrF）激光器，193nm的氟化氪激光器大概是作為曝光源的準...

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【簡答題】如果光刻膠對光的吸收過多側(cè)墻會怎樣？

答案：如果光刻膠的吸收過多，光刻膠底部接收的光強度就會比頂部的少很多，會導致圖形側(cè)墻傾斜。

【簡答題】列出并描述光刻中使用的兩種UV曝光光源。

答案：汞燈和準分子激光

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