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問答題

【簡答題】列出光刻的8個步驟，并對每一步做出簡要解釋。

答案： 1氣相成底膜：第一步是清洗、脫水和硅片表面成底膜處理。
2旋轉(zhuǎn)涂膠：完成底膜后，硅片要立即采用旋轉(zhuǎn)涂膜的方法涂...

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【簡答題】描述投影掩膜版和光掩膜版的區(qū)別？

答案：投影掩膜版它包括了要在硅片上重復(fù)生成的圖形。這種圖形可能僅包含一個管芯，也可能是幾個光掩膜版通常稱為掩膜版，包含了對于整...