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問答題

【簡(jiǎn)答題】描述投影掩膜版和光掩膜版的區(qū)別？

答案：投影掩膜版它包括了要在硅片上重復(fù)生成的圖形。這種圖形可能僅包含一個(gè)管芯，也可能是幾個(gè)光掩膜版通常稱為掩膜版，包含了對(duì)于整...

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