問答題

【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述有光刻膠覆蓋硅片的三個(gè)生產(chǎn)區(qū)域。

答案：

光刻區(qū)，刻蝕區(qū)和離子注入?yún)^(qū)
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答案： 擴(kuò)散：擴(kuò)散區(qū)一般認(rèn)為是進(jìn)行高溫工藝及薄膜沉積的區(qū)域。
刻：使用黃色瑩光管照明使得光刻區(qū)與芯片廠中的其他各個(gè)區(qū)明...
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