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問答題
【簡答題】什么是等離子體，為什么要在等離子體中使用RF能量？
答案：
等離子是一種中性，高能量，離子化的氣體，包含中性原子或分子，帶電離子和自由電子。
RF能量的使用可以產(chǎn)生一個高...
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問答題
【簡答題】什么是外延層，為什么在硅片上使用它？
答案：
在某種情況下，需要硅片有非常純的與襯底有相同晶體結(jié)構(gòu)的硅表面，還要保持對雜質(zhì)類型和濃度的控制，這要通過在硅表面沉積一個外...
