填空題

為了避免短溝道效應，可采用按比例縮小法則，當MOSFET的溝道長度縮短一半時，其溝道寬度應（），柵氧化層厚度應（），源、漏區(qū)結深應（），襯底摻雜濃度應（）。

答案：增大；減?。辉龃?；增大

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在長溝道MOSFET中，漏極電流的飽和是由于（），而在短溝道MOSFET中，漏極電流的飽和則是由于（）。

答案：溝道夾斷；載流子漂移速度的飽和

閾電壓V的短溝道效應是指，當溝道長度縮短時，V變（）。

答案：減小