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【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述主要金屬層的制備方法?
答案:
•蒸發(fā)
•濺射
•金屬化學(xué)氣相沉積
•電鍍
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【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述銅的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)?
答案:
優(yōu)點(diǎn):
•更低的電阻率
•減少了功耗
•更高的互連線集成密度...
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