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單項選擇題

高電流注入機的掃描方式為（）。

A.靜電掃描
B.機械掃描
C.靜電掃描與機械掃描結(jié)合

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單項選擇題

下列選項屬于BF₃的特性的是（）

A.黃色標識，有白煙
B.紅色標識，臭大蒜味道
C.黑色標識，無色大蒜味

單項選擇題

離子注入機機架外殼和高壓放電棒接地電阻小于（）。

A.1Ω
B.5Ω
C.10Ω