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單項(xiàng)選擇題

離子注入機(jī)機(jī)架外殼和高壓放電棒接地電阻小于（）。

A.1Ω
B.5Ω
C.10Ω

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Metal slab中的金屬Ti是為了形成金屬硅化物降低接觸電阻。

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