RF電源故障解析：同一個(gè)腔體內(nèi)若有多個(gè)RF電源運(yùn)行時(shí)會(huì)發(fā)生哪些異常（）？

對(duì)于影響成膜的異常放電發(fā)生時(shí)，關(guān)于DC 電源性能重要性內(nèi)容下列正確的選項(xiàng)是（）。

應(yīng)用在真空中的各式材料包括（）。

離子濺射泵的特點(diǎn)是什么（）？

磁性開關(guān)氣缸在缸筒上直接安裝磁性開關(guān)，磁性開關(guān)用來(lái)檢測(cè)氣缸行程的（），控制氣缸往復(fù)運(yùn)動(dòng)。