工業(yè)機(jī)器人更新轉(zhuǎn)數(shù)計(jì)數(shù)器的步驟是（）。

氣動(dòng)執(zhí)行器的常見(jiàn)故障有（）。

從外圍設(shè)備要重新啟動(dòng)一度暫停的程序，要使用（）輸入。

ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。

磁性開(kāi)關(guān)氣缸在缸筒上直接安裝磁性開(kāi)關(guān)，磁性開(kāi)關(guān)用來(lái)檢測(cè)氣缸行程的（），控制氣缸往復(fù)運(yùn)動(dòng)。

離子濺射泵的特點(diǎn)是什么（）？

分子泵的控制器和泵體集成化以后有哪些優(yōu)點(diǎn)（）？

下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

EnDpointDeteCtion 方法有（）。

下列屬于熱陰極電離真空計(jì)的是（）。