ULVAC 的RF 電源使用的高頻是（）。

磁性開關(guān)氣缸在缸筒上直接安裝磁性開關(guān)，磁性開關(guān)用來檢測(cè)氣缸行程的（），控制氣缸往復(fù)運(yùn)動(dòng)。

UTM-A 系列泵，可調(diào)節(jié)轉(zhuǎn)速后會(huì)有哪些好處（）？

應(yīng)用在真空中的各式材料包括（）。

氣動(dòng)執(zhí)行器的常見故障有（）。