當(dāng)機(jī)器人的運(yùn)動軌跡需要在現(xiàn)有基礎(chǔ)上沿Y 軸旋轉(zhuǎn)30°時，可添加指令（），并在每一條運(yùn)動指令末尾添加OFFSET PR[3]的方法來實現(xiàn)。

油擴(kuò)散泵的優(yōu)點(diǎn)是什么（）？

離子濺射泵優(yōu)點(diǎn)是什么（）？

伺服工作時，存在（）電能，所以不可隨意觸摸伺服，其是伺服的出線端子，以防發(fā)生觸電事故。

RF電源故障解析：同一個腔體內(nèi)若有多個RF電源運(yùn)行時會發(fā)生哪些異常（）？