步進電機上有（）根接線，其中任何一根線頭松脫斷路都會造成電機轉(zhuǎn)速失控或停轉(zhuǎn)。

磁性開關(guān)氣缸在缸筒上直接安裝磁性開關(guān)，磁性開關(guān)用來檢測氣缸行程的（），控制氣缸往復(fù)運動。

當(dāng)機器人的運動軌跡需要在現(xiàn)有基礎(chǔ)上沿Y 軸旋轉(zhuǎn)30°時，可添加指令（），并在每一條運動指令末尾添加OFFSET PR[3]的方法來實現(xiàn)。

下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

氣動執(zhí)行器的常見故障有（）。