問答題

【簡答題】擴散間生產(chǎn)流程及返工流程是什么?操作時應注意哪些事項?

答案: 生產(chǎn)流程:開機→對硅片自檢→檢查石英舟→插片→上漿→運行工藝→卸片→測方塊電阻→返工片和碎片處理→流程卡填寫
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【簡答題】磷源更換操作流程是什么?泄露應該怎么處理?

答案: 源瓶更換的標準操作過程依次關(guān)閉進氣閥門、出氣閥門,拔出連接管道,更換源瓶,連接管道,打開出氣閥門、進氣閥門。液態(tài)源外溢了...
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【簡答題】簡述太陽能電池片制造PECVD的目的及原理?

答案: 目的:在太陽電池表面沉積深藍色減反膜-SiN膜。
P.ECVD技術(shù)原理:是利用低溫等離子體作能量源,樣品置于低氣...
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