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【簡答題】簡述太陽能電池片制造PECVD的目的及原理?
答案:
目的:在太陽電池表面沉積深藍(lán)色減反膜-SiN膜。
P.ECVD技術(shù)原理:是利用低溫等離子體作能量源,樣品置于低氣...
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問答題
【簡答題】分別寫出刻蝕及去PSG的工藝控制流程?
答案:
刻蝕的流程:預(yù)抽,主抽,送氣,輝光,清洗,預(yù)抽,主抽,充氣
去PSG的流程:酸洗(HF),溢流水洗,噴淋,甩干
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【簡答題】邊緣刻蝕冷熱探針的工作原理?
答案:
熱探針和N型半導(dǎo)體接觸時(shí),傳導(dǎo)電子將流向溫度較低的區(qū)域,使得熱探針處電子缺少,因而其電勢(shì)相對(duì)于同一材料上的室溫觸點(diǎn)而言將...
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