準(zhǔn)確地說(shuō),B級(jí)區(qū)到D級(jí)區(qū)間不是緩沖,而是氣鎖,B級(jí)區(qū)到D級(jí)區(qū)或C級(jí)區(qū),器具退出只設(shè)一個(gè)氣鎖。
10萬(wàn)級(jí)的可在一般區(qū)內(nèi)清洗,其它高要求的則至少在10萬(wàn)級(jí)清洗。