問答題

【簡答題】簡要說明正膠和負膠的關光刻原理與特性。

答案： 原理：臨時性地涂覆在硅片表面，通過曝光轉(zhuǎn)移設計圖形到光刻膠上。
負膠特性：
1曝光后不可溶解
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