下列可適用于sputter 設(shè)備的電源都有（）。

檢漏儀里標(biāo)準(zhǔn)漏孔的作用是（）。

RF電源故障解析：同一個(gè)腔體內(nèi)若有多個(gè)RF電源運(yùn)行時(shí)會(huì)發(fā)生哪些異常（）？

離子濺射泵優(yōu)點(diǎn)是什么（）？

離子濺射泵的特點(diǎn)是什么（）？