問答題

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【簡答題】簡述鉭在銅互連工藝中的作用
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答案： 挑戰(zhàn)：
①高深寬比的金屬層間接觸孔需要點擊一層銅阻擋層以防止銅擴散，這個阻擋層需要良好的側壁和底層階梯覆蓋、優(yōu)...
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