問答題

【簡答題】熱氧化工藝有哪些?

答案:

有干氧氧化、濕氧氧化、水汽氧化

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問答題

【簡答題】氧化硅的主要作用有哪些?

答案:

1、作為掩膜,
2、作為芯片的鈣化和保護(hù)膜,
3、作為電隔離膜,
4、作為元器件的組成部分。

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【簡答題】SiO2中雜質(zhì)有哪些類型?

答案:

替代式雜質(zhì)、間隙式雜質(zhì)

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