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名詞解釋

特征尺寸

答案：

集成電路中半導體器件能夠加工的最小尺寸

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Moorelaw

答案：

芯片上所集成的晶體管的數目，每隔18個月翻一番。

有限源擴散

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雜質總量恒定；雜質分布為高斯函數分布（Gaussian）；表面濃度隨著時間下降，結深隨著時間增加。