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MOCVD
答案:
即金屬有機化合物化學氣相淀積,是在氣相外延生長(VPE.的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的一種新型氣相外延生長技術(shù),以Ⅲ族、Ⅱ族元素的有...
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MEMS
答案:
即微機電系統(tǒng),指隨著半導體集成電路微細加工技術(shù)和超精密機械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的,可批量制作的,集微型機構(gòu)、微型傳感...
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名詞解釋
LLO
答案:
襯底激光剝離,是利用激光能量分解氮化鎵(GaN)/藍寶石接口處的GaN緩沖層,從而實現(xiàn)LED外延片從藍寶石襯底分離。
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