名詞解釋

答案：即微機(jī)電系統(tǒng)，指隨著半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加工技術(shù)和超精密機(jī)械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來(lái)的，可批量制作的，集微型機(jī)構(gòu)、微型傳感...

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答案：

襯底激光剝離，是利用激光能量分解氮化鎵（GaN）/藍(lán)寶石接口處的GaN緩沖層，從而實(shí)現(xiàn)LED外延片從藍(lán)寶石襯底分離。

答案：

硅基液晶，是一種基于反射模式、尺寸非常小的矩陣液晶顯示裝置。