單項(xiàng)選擇題

?CVD可分為低溫工藝、中溫工藝、高溫工藝，不同溫度制備的同種薄膜（如SiO2）的密度（）

A.溫度升高，略有下降
B.與溫度無(wú)關(guān)
C.溫度升高，略有增加
D.都相同

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