高壓汞燈作為紫外光源被使用有常規(guī)i線步進光刻機上，那么i線的UV光波長為（）

影響顯影工藝的因素有（）。

金屬薄膜制備中常見的濺射方式有（）

利用高溫驅(qū)動雜質(zhì)滲透進半導(dǎo)體內(nèi)，此工序采用的設(shè)備是（）

兼具有各向異性刻蝕的優(yōu)點，又有可接受的選擇比的刻蝕方法是（）。

分結(jié)深是重要的結(jié)構(gòu)參數(shù)，在檢驗時發(fā)現(xiàn)超淺結(jié)注入時，判斷其造成原因有（）

鋁的電遷移可能導(dǎo)致的結(jié)果是（）

根據(jù)曝光模式，光制機的種類分為（）。

敘述測試晶體管的方法？

調(diào)試和維修電路時排除故障的一般程序和方法是怎樣的？