名詞解釋

分辨率R

答案：

是對光刻工藝可以到達的最小光刻圓形尺寸的一種描述。
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ULSI對光刻的要求
答案：

高分辨率；高靈敏光刻膠；低缺陷；精密的套刻對準。
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刻蝕
答案：

通過腐蝕，將光刻膠上圖形完整整地轉移到Si片上。
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