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名詞解釋

ULSI對光刻的要求

答案：

高分辨率；高靈敏光刻膠；低缺陷；精密的套刻對準。

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刻蝕

答案：

通過腐蝕，將光刻膠上圖形完整整地轉(zhuǎn)移到Si片上。

光刻三要素

答案：

光刻機，光刻板（掩模板），光刻膠。