在超高真空下,利用薄膜組分元素受熱蒸發(fā)所形成的原子或分子數(shù),直接射到沉底表面,形成外延層。
襯底雜質(zhì)與外延層雜質(zhì)相互擴散,導(dǎo)致界面處雜志再分布的現(xiàn)象。