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短溝道效應(yīng)(Short Channel Effect)
答案:
短溝道效應(yīng)主要是指閾值電壓與溝道相關(guān)到非常嚴(yán)重的程度。源-漏兩極的p-n結(jié)將參與對位于柵極下的硅的耗盡作用,同柵極爭奪對...
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方塊電阻(薄層電阻)
答案:
方塊電阻的大小直接反映了擴(kuò)散入硅內(nèi)部的凈雜質(zhì)總量。
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固溶度(solubility)
答案:
在平衡條件下,雜質(zhì)能溶解在硅中而不發(fā)生反應(yīng)形成分凝相的最大濃度。
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