濕氧氧化采用的氧化水溫是（）。

鳥嘴效應造成的不良影響有（）。

光刻工藝對準誤差包括（）。

厚膜電阻的成分，一是導體顆粒，二是（）。

三光檢查主要是檢查芯片粘貼和引線焊接之后有無各種廢品。

化學機械拋光液的主要成分不包括的是哪個？（）

互連工藝中AL的制備可選用（）。

目前制備SOI材料的主流技術有幾種？（）

當許多損傷區(qū)連在一起時就會形成連續(xù)的非晶層，開始形成連續(xù)非晶層的注入劑量稱為（）。

刻蝕過程中聚合物形成的來源有（）。