也叫熱處理,集成電路工藝中所有的在氮?dú)獾炔换顫姎夥罩羞M(jìn)行的熱處理過程都可以稱為退火。
是將摻雜氣體導(dǎo)入放有硅片的高溫爐中,將雜質(zhì)擴(kuò)散到硅片內(nèi)的一種方法。