假設(shè)某項(xiàng)化學(xué)氣相淀積工藝受反應(yīng)速率控制，在700 ℃和800 ℃時(shí)的淀積速率分別為500Å/min和2000Å/min，請(qǐng)計(jì)算在900℃下的淀積速率是多少？實(shí)際測(cè)量發(fā)現(xiàn)900℃下淀積速率遠(yuǎn)低于計(jì)算值，說明什么？怎樣證明？（化學(xué)氣相淀積的反應(yīng)速率常數(shù)）

識(shí)別如圖所示工藝，寫出每個(gè)步驟名稱并進(jìn)行描述。

如圖為鋁金屬化與銅金屬化工藝的比較。識(shí)別并描述每個(gè)工藝步驟。

依照如圖，對(duì)硅片制造廠的六個(gè)分區(qū)分別做一個(gè)簡短的描述，要求寫出分區(qū)的主要功能、主要設(shè)備以及顯著特點(diǎn)。