問答題

【簡答題】在VLSI中，為什么要采用Cu互連及多層金屬化技術？

答案：

因為Cu的互連線電阻率低，介質(zhì)層介電常數(shù)小。
多層互連對VLSI的意義：1提高集成度；2降低互連延遲3降低成本
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問答題

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【簡答題】簡要說明正膠和負膠的關光刻原理與特性。
答案： 原理：臨時性地涂覆在硅片表面，通過曝光轉移設計圖形到光刻膠上。
負膠特性：
1曝光后不可溶解
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