<wbr id="dqdxd"><ol id="dqdxd"></ol></wbr>

<table id="dqdxd"><legend id="dqdxd"><big id="dqdxd"></big></legend></table>

<legend id="dqdxd"><menuitem id="dqdxd"></menuitem></legend>

名詞解釋

離軸照明

答案：通過使用光圈將入射光以一定角度入射到光學(xué)系統(tǒng)的透鏡上，收集光刻板上光柵的一級衍射，提高分辨率。

你可能感興趣的試題

Opc光學(xué)臨界校正

答案：補(bǔ)償當(dāng)圖形尺寸和曝光光線尺寸臨近時(shí)所產(chǎn)生的衍射效應(yīng)。

PSM移相掩膜

答案：相移掩膜上的電介質(zhì)層在光刻版上開口部分以間隔的方式形成相移圖形，通過沒有相移涂敷開口部分的光線，會與通過有相移涂敷開口的...