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【簡(jiǎn)答題】雜質(zhì)在硅中的擴(kuò)散方式有哪些?
答案:
恒定表面源擴(kuò)散和限定表面源擴(kuò)散
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【簡(jiǎn)答題】二氧化硅結(jié)構(gòu)中的氧原子可分為哪幾種?
答案:
橋鍵氧原子和非橋鍵氧原子
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【簡(jiǎn)答題】什么是外延層?為什么在硅片上使用外延層?
答案:
1)在某種情況下,需要硅片有非常純的與襯底有相同晶體結(jié)構(gòu)的硅表面,還要保持對(duì)雜質(zhì)類(lèi)型和濃度的控制,通過(guò)外延技術(shù)在硅表面沉...
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