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問答題
【簡答題】什么是外延層？為什么在硅片上使用外延層？
答案：
1）在某種情況下，需要硅片有非常純的與襯底有相同晶體結(jié)構(gòu)的硅表面，還要保持對雜質(zhì)類型和濃度的控制，通過外延技術(shù)在硅表面沉...
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【簡答題】自摻雜效應(yīng)與互擴(kuò)散效應(yīng)
答案：
左圖：自摻雜效應(yīng)是指高溫外延時，高摻雜襯底的雜質(zhì)反擴(kuò)散進(jìn)入氣相邊界層，又從邊界層擴(kuò)散摻入外延層的現(xiàn)象。自摻雜效應(yīng)是氣相外...
