(1)晶核形成,成束的穩(wěn)定小晶核形成 (2)聚集成束,也稱為島生長 (3)形成連續(xù)的膜
(1)對材料具有高的選擇比 (2)不會對器件帶來等離子體損傷 (3)設備簡單
最新試題
芯片粘接的工藝過程包括()。
常壓的硅外延方法有()。
CE定律發(fā)展面臨的問題包括()。
摻雜后,退火的目的是()。
光刻工藝的特點包括()。
多層陶瓷基板多層化的方法包括()。
硅烷法制備高純硅的步驟不包括哪一項?()
互連工藝中AL的制備可選用()。
厚膜電阻的成分,一是導體顆粒,二是()。
進行溝槽填充常用的金屬材料是()。