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問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述激光干涉儀常用的分光方法。

答案：（1）分波陣面法
（2）分振幅法
（3）分偏振法（PBS）
（4）衍射分光法

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激光干涉儀光路系統(tǒng)主要包括：（）。常用的光源為（）激光器：（激光的功率和頻率穩(wěn)定性高、連續(xù)方式運(yùn)轉(zhuǎn)、在可見(jiàn)光和紅外光區(qū)域有譜線）。

答案：光源、分束器和反射器；He-Ne

問(wèn)答題

【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述單頻激光干涉儀組成。

答案： 1.激光干涉儀光路系統(tǒng)
2.干涉條紋計(jì)數(shù)和處理測(cè)量結(jié)果的電子系統(tǒng)
3.機(jī)械系統(tǒng)