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【簡答題】簡述單頻激光干涉儀組成。
答案:
1.激光干涉儀光路系統(tǒng)
2.干涉條紋計數(shù)和處理測量結(jié)果的電子系統(tǒng)
3.機械系統(tǒng)
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答案:
光學(xué)隔離器;雙激光
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