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問答題

【簡答題】簡述正膠和負(fù)膠顯影效果

答案：正性光刻膠：曝光區(qū)域溶解于顯影液，顯影后圖形與掩模版圖形一樣
負(fù)性光刻膠：曝光區(qū)域不溶解于顯影液，顯影后圖形與...

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目的：
（1）將掩模版圖案轉(zhuǎn)移到...

【簡答題】簡述離子注入設(shè)備的五個主要子系統(tǒng)

答案：

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