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【簡(jiǎn)答題】簡(jiǎn)述光刻膠的概念及目的
答案:
概念:一種有機(jī)化合物,受紫外光曝光后,在顯影液中的溶解度會(huì)發(fā)生變化
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(1)將掩模版圖案轉(zhuǎn)移到...
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答案:
優(yōu)點(diǎn):精確控制雜質(zhì)含量、很好的雜質(zhì)均勻性、對(duì)雜質(zhì)穿透深度有很好的控制、產(chǎn)生單一離子束、低溫工藝、注入的離子能穿過(guò)薄膜、無(wú)...
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