問答題

【簡答題】在雙極集成電路和MOS集成電路工藝中，為什么都要用外延層？

答案：在雙極集成電路工藝中，采用高阻的外延層可提高集電結(jié)的擊穿電壓，而其低阻的襯底（或埋層）可降低集電極的串聯(lián)電阻。在MOS集...

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【簡答題】試對比分析擴散工藝和離子注入工藝的特征和特點。

答案：擴散是高溫工藝，需要SiO₂這樣的耐高溫硬掩膜，其擴散形成的結(jié)深較深。擴散是各向同性的，因此有較大...

【簡答題】什么是離子注入的溝道效應(yīng)？消除溝道效應(yīng)的途徑有哪些？

答案：