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MOS場(chǎng)效應(yīng)晶體管的開(kāi)啟電壓指的是:()。所以,NMOS管的開(kāi)啟電壓為(),PMOS管的開(kāi)啟電壓為()。
答案:
MOS管柵下半導(dǎo)體表面開(kāi)始強(qiáng)反型時(shí)的柵極電壓;正;負(fù)
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光刻工藝的分辨率決定于:()和曝光、顯影、刻蝕條件的正確控制。正膠的分辨率()于負(fù)膠的分辨率;光刻膠越薄,分辨率越()。
答案:
光刻機(jī)的分辨率、光刻膠的種類、光刻膠的厚度、光刻膠的對(duì)比度;高;高
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填空題
前烘的目的是()使膠膜中的溶劑只有初始濃度的()。從而,使膠的()性能穩(wěn)定。對(duì)正膠,前烘過(guò)度會(huì)使非曝光區(qū)的膠();前烘不足,會(huì)使膠的感光度(),對(duì)比度(),線條邊緣不陡直。所以,必須嚴(yán)格控制前烘的()和()。
答案:
去除膠膜中的大部分溶劑;5%;曝光;部分溶解;提高;降低;時(shí)間;溫度
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