問答題

【簡答題】明兩步擴散法的基本思想，及其每一步工藝的主要特點和目的。

答案：第一步：恒定表面濃度的擴散（預沉積擴散Pre-deposition）；
目的：控制摻入的雜質總量；
...

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對于恒定表面源擴散，由于...