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問答題

【簡答題】列出恒定表面源擴散的三種主要工藝參數(shù)，并說明其含義和主要影響因素。

答案：摻雜劑量（Predeposition dose）：單位面積硅片內的雜質數(shù)。
對于恒定表面源擴散，由于...

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