單項(xiàng)選擇題

晶硅柵極刻蝕最大的挑戰(zhàn)就是對(duì)二氧化硅的高選擇性。超薄的()使得在刻蝕多晶硅電極時(shí)對(duì)它的刻蝕要盡可能的小。

A.n型摻雜區(qū)
B.P型摻雜區(qū)
C.柵氧化層
D.場(chǎng)氧化層

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