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單項(xiàng)選擇題
單晶硅刻蝕一般采用()做掩蔽層,以氟化氫為主要的刻蝕劑,氧氣為側(cè)壁鈍化作用的媒介物。
A.氮化硅
B.二氧化硅
C.光刻膠
D.多晶硅
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單項(xiàng)選擇題
在IC芯片生長中淺溝槽隔離技術(shù)STI逐漸取代了局部氧化LOCOS所制成的()而成為相鄰電子元件的絕緣體
A.柵氧化層
B.溝槽
C.勢(shì)壘
D.場(chǎng)氧化層
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單項(xiàng)選擇題
在生產(chǎn)過程中必須使用()來完成淺溝槽隔離STI。
A.單晶硅刻蝕
B.多晶硅刻蝕
C.二氧化硅刻蝕
D.氮化硅刻蝕
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