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單項選擇題
引出系統(tǒng)要求能引出分散性較好的強束流,還希望具有較()的氣阻。
A.無序
B.穩(wěn)定
C.小
D.大
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單項選擇題
離子源的作用是使所需要的雜質(zhì)原子電離成()離子,并通過一個引出系統(tǒng)形成離子束。
A.正
B.負(fù)
C.中性
D.以上答案都可以
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單項選擇題
在各種離子源常用的放電方式中,EOS是指有()。
A.電子振蕩放電
B.離子自動放電
C.低電壓弧光放電
D.雙等離子電弧放電
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